真空等離子表面處理機常見問題和解決方法
問：發現試驗效果不佳，怎么辦？
請檢查泵油是否變暗變臟，并及時更換。
問：如果設備買不起輝光怎么辦？
1. 射頻燈未能提供射頻；
2. 密封性可能存在漏氣問題。
問：如何檢查射頻燈的問題？
使用設備的標準測試燈管，將其放入主體，打開“RF”開關到“Hi”位置，并通過觀察燈的狀態來判斷RF燈的問題(在此過程中不需要真空)。
問：如何解決密封問題？
1. 確保使用的真空泵能夠達到或超過*小抽速1.4立方米每小時和極限負壓不大于200mTorr；
2. 然后檢查真空軟管、所有軟管卡箍和氣體進氣管路連接件是否正確并擰緊，等離子清洗艙門是否正確關閉，門密封圈的地方是否清潔無缺陷。
問：是否有任何建議的清潔工藝參數？
答：射頻功率級應設為中高檔。600-800mt壓力和1-3分鐘的加工時間是較好工藝參數的初始值。*佳工藝參數將取決于樣品材料和預期應用。需要進行一些實驗來確定這些*佳值。
問：如何測量真空負壓值？
答：我們可以購買相應的測量設備，如真空監測裝置或氣流混合器。
問：為什么泵油會回來？
答：如果配套泵是油泵，如果工藝完成后設備艙內壓力沒有立即降低，油可能會從真空油泵回流，造成污染系統。我們建議使用具有防回燃功能的真空泵。
問：如何清洗真空腔內壁？
答：真空室的內壁、門和O形圈需要定期清洗。清洗方法請參照標準實驗室玻璃器皿清洗方法，如浸泡在酒精、丙酮或異丙醇中或輕輕擦拭等離子室表面。
