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技術交流

真空等離子清洗機對比傳統清洗的優勢

發布時間：2019/11/5 8:35:57 | 信息來源：
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等離子清洗機在傳統的濕法清洗是采用化學清洗的方法：如氫氧化氨/雙氧水去除硅片表面的顆粒和有機物；用鹽酸/雙氧水去除表面金屬；用氫氟酸去除表面自然氧化層；用硫酸/雙氧水去除表面金屬和有機物。
真空等離子清洗機濕法清洗作為傳統的清洗方法依然還被應用，與現在等離子技術應用還是有很多缺點：
1、不能精確控制；
2、容易引入新的雜質；
3、對殘余物不能處理；
4、消耗大量的酸和水；
5、清洗不徹底，需反復清洗；
6、污染環境，需對廢液進行處理；
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