等離子清洗機粘片工藝過程中，由于粘片膠含有水分，經過烘 箱對其烘烤過后，封裝管殼內引線往往會出現黃色沾附物，這主要是在烘烤過程中水汽揮發攜帶了微量膠 的有機成分形成的，這種現象一般被稱為粘片工藝過 粘片工藝過程中，由于粘片膠含有水分，經過烘 箱對其烘烤過后，封裝管殼內引線往往會出現黃色沾 附物，這主要是在烘烤過程中水汽揮發攜帶了微量膠的有機成分形成的，這種現象一般被稱為粘片工藝過程粘污。

等離子清洗機為了分析粘片工藝過程，從粘片工藝流程著手， 粘片工藝流程為點膠→貼片→烘烤（固化）。這其中可能引起粘污的環節是點膠和烘烤，點膠主要是操作或設置不當引起的粘膠粘到管殼或引線上形成粘污，而烘烤則是在烘烤粘膠里的水分時，其揮發的水汽攜帶 的粘膠有機物吸附于管殼或引線上而形成粘污。 現有封裝工藝是在粘片前對空的管殼進行清洗， 而在粘片后和鍵合前沒有清洗這道工序，這使得粘片 過程中的粘污無法得到有效去除。在粘片工藝過程控 制較好時，對后續的鍵合工藝影響較小，對電路的影響也很難察覺；粘片工藝過程控制不好容易出現引線粘污，鍵合容易脫鍵，電路在抗沖擊或老化篩選實驗 中容易出現失效。

目前對等離子清洗機引線粘污的處理方法主要采用的是紫外光清洗或者等離子體清洗，兩者在引線清洗中都有各自的適用性，具體的選擇需要根據具體的工藝確定。 由于濕法清洗會帶來環境污染和清洗過后的二次粘污，干法清洗在這方面具有明顯的優勢。等離子體中活性粒子的“活化作用”能夠有效除 去物體表面的沾污物，從而達到清洗的目的，這就是等離子體清洗。等離子體是等離子清洗機的必備條件，等離子體吸附于被清洗物表面，被清洗物與等離 子體之間發生反應生成新的分子，等離子體會進一步促進新分子解析形成氣態分子，*終除去表面粘污物。等離子體清洗的*大特點是能夠對不同的粘污物進行處理，能夠對金屬、氧化物和大部分有機材料進 行清洗，而且可以實現對物體的整體、局部以及各種復雜結構的清洗。