低溫等離子體技能在廢氣處理中的使用跟著工業經濟的開展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等職業發作的揮發性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不只會在大氣中逗留較長的時刻，還會分散和漂移到較遠的當地，給環境帶來嚴峻的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康發作極大的損害；另外工業煙氣的無操控排放使全球性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物) 的損害引起了各國的重視。因為大氣受污染而酸化，導致了生態環境的損壞，嚴重災禍頻繁發作，給人類造成了巨大損失。因而挑選一種經濟、可行性強的處理辦法勢在必行。
降解揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理辦法如吸收、吸附、冷凝和焚燒等，
關于低濃度的VOCs很難完成，而光催化降解VOCs又存在催化劑簡單失活的問題，使用
低溫等離子體處理VOCs能夠不受上述條件的約束，具有潛在的優勢。但因為等離子體是一門包括放電物理學、放電化學、化學反響工程學及真空技能等基礎學科之上的交叉學科。因而, 現在能老練的把握該技能的單位非常的少。大部分宣揚選用低溫等離子技能處理廢氣的宣揚都不是真實意義上的低溫等離子廢氣處理技能。
