等離子體放電過程中產生臭氧的基本原理是含氧氣體在放電反應器內所形成的低溫等離子體氛圍中，一定能量的自由電子將氧分子分解成氧原子，之后通過三體碰撞反應形成臭氧分子，同時也發生著臭氧的分解反應。
臭氧，化學分子式為O3，又稱三原子氧、超氧，因其類似魚腥味的臭味而得名，在常溫下可以自行還原為氧氣。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子攜帶一個氧原子組成，決定了它只是一種暫存狀態，攜帶的氧原子除氧化用掉外，剩余的又組合為氧氣進入穩定狀態，所以臭氧沒有二次污染。
如果我們通入的氣體中含有氧氣，那么在反應過程中就會產生少量的臭氧，正是因為有臭氧的產生，所以我們在使用等離子技術針對電子元器件的防腐蝕涂層
對電子器件和組件提供有選擇性防腐蝕保護以應對氣候的影響對于各類產品的可靠性至關重要?，F代轎車上的所有缺陷，幾乎一半是由于氣候引起的老化和電子元器件發生的腐蝕損害而造成的。即便是在極端溫度條件下，對濕度、化學物質和有害氣體進行防護，是避免這樣的系統故障的必不可少的先決條件。
當前，主要是通過油漆、樹脂或凝膠（硅）涂層來滿足這些要求。然而，這些工藝的應用費力而又費時，在經濟上和環保上都表現出局限性。通常使用的溶劑型涂層系統相對較厚且很難進行涂層區域選擇。根據具體的保護涂層種類，可能還會出現如散熱不良、吸收水分、涂層脫落或傳感器信號衰減等缺陷。
而利用等離子技術，可有效沉積超薄、透明和絕緣的防老化等離子聚合涂層，并有選擇性的保護電子器件，特別是印刷電路板。該涂層高效的防護阻隔作用，不僅會延長產品的壽命、提高產品的安全性，還將顯著降低成本。等離子清洗機被廣泛使用的原因：
1、環保
等離子體起到作用的過程時氣到固體的相干式的，過程中不消耗水資源，也不需要添加化學藥劑，對于周圍的環境沒有污染。
2、廣泛性
使用等離子清洗機一般是不分處理對象的基本材料類型，都可以進行處理，對于金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料，例如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺甚至是聚四氟乙烯等等都可以得到很好的處理，并且可以實現整體以及局部以及負責的結構進行清洗處理。
3、功能性強
等離子清洗機不僅涉及道路高分子材料淺表面，可以在保持材料自身特性的同時，有賦予了一種或者多種的新功能。
4、溫度低
等離子清洗機接近常溫，特別適合用于高分子材料，比使用電暈已經火焰的方法有很長的保存時間和比較的表面處理張力。
5、成本低
等離子處理裝置簡單，易于操作和維修，可以連續的運行，往往幾瓶的等離子氣體就可以代替數千公斤的清洗液，因此清洗的成本會大大的降低與濕法清洗。
6、全稱可控工藝
等離子清洗機幾乎所有的參數都可以由電腦設置和數據記錄，進行質量控制。
7、處理物的幾何形狀無限制
使用等等離子清洗機處理的物體，其或大或小，形狀簡單或者復雜，部件或紡織品都可以進行處理。
