等離子體放電過程中產生臭氧的基本原理是含氧氣體在放電反應器內所形成的低溫等離子體氛圍中，一定能量的自由電子將氧分子分解成氧原子，之后通過三體碰撞反應形成臭氧分子，同時也發生著臭氧的分解反應。
臭氧，化學分子式為O3，又稱三原子氧、超氧，因其類似魚腥味的臭味而得名，在常溫下可以自行還原為氧氣。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子攜帶一個氧原子組成，決定了它只是一種暫存狀態，攜帶的氧原子除氧化用掉外，剩余的又組合為氧氣進入穩定狀態，所以臭氧沒有二次污染。
如果我們通入的氣體中含有氧氣，那么在反應過程中就會產生少量的臭氧，正是因為有臭氧的產生，所以我們在使用按接電方法不同，等離子弧有三種形式：
①非轉移?。褐冈陉帢O和噴嘴之間所產生的等離子弧。這種情況正極接在噴嘴上，工件不帶電，在陰極和噴嘴的內壁之間產生電弧，工作氣體通過陰極和噴嘴之間的電弧而被加熱，造成全部或部分電離，然后由噴嘴噴出形成等離子火焰(或叫等離子射流)。
等粒子噴涂采用的就是這類等離子弧。
②轉移弧：電弧離開噴槍轉移到被加工零件上的等離子弧。這種情況噴嘴不接電源，工件接正極，電弧飛越噴槍的陰極和陽極（工件）之間，工作氣體圍繞著電弧送入，然后從噴嘴噴出。
等離子切割，等離子弧焊接，等離子弧冶煉使用的是這類等離子弧。
③聯合弧:非轉移弧引燃轉移弧并加熱金屬粉末，轉移弧加熱工件使其表面產生熔池。這種情況噴嘴，工件均接在正極。等離子清洗機在電子行業的應用
1.硬盤塑料件
科學的發展，技術的不斷進步，電腦硬盤的各項性能也不斷提高，其容量越來越大，碟片數量隨之增多，轉速也高達7200轉/分，這對硬盤結構的要求也越來越高，硬盤內部部件之間連接效果直接影響硬盤的穩定性、工作可靠性、使用壽命，這些因素直接關系到數據的安全性。
為了確保硬盤的質量，知名硬盤生產廠家對內部塑料件在粘接前均進行各種處理，應用較多的是等離子處理技術，使用該技術能有效清潔塑料件表面油污，并能增加其表面活性，即能提高硬盤部件的粘接效果。實驗表明，硬盤中使用等離子處理過的塑料件在使用過程中持續穩定運行時間顯著增加，可靠性及抗碰撞性能有明顯的改善。
2.耳機聽筒
耳機中的線圈在信號電流的驅動下帶動振膜不停的振動，線圈和振膜以及振膜與耳機殼體之間的粘接效果直接影響耳機的聲音效果和使用壽命，如果它們之間出現脫落就會產生破音，嚴重影響耳機的音效和壽命。
振膜的厚度非常薄，要提高其粘接效果，使用化學方法處理，直接影響振膜的材質，從而影響音效。眾多廠家正準備使用新技術來對振膜進行處理，等離子處理就是其中之一，該技術能有效提高粘接效果，滿足需求，且不改變振膜的材質。經實驗，用等離子清洗機處理生產的耳機，各部分之間的粘接效果明顯改善，在長時間高音測試下也不會有破音等現象發生，使用壽命也有很大的提高。
3.手機外殼
手機的種類繁多，外觀更是多彩多樣，其顏色鮮艷，Logo醒目，但使用手機的人都知道，手機在使用一段時間后，其外殼容易掉漆，甚至Logo也變得模糊不清，嚴重影響手機的外觀形象。
知名手機品牌廠家為了尋找解決這些問題的方法，曾使用化學藥劑對手機塑料外殼進行處理，其印刷粘接的效果有所改善，但這是降低手機外殼的硬度為代價，為了尋求更好的解決方案，等離子技術脫穎而出。等離子表面處理技術不僅可以清洗外殼在注塑時留下的油污，更能*大程度的活化塑料外殼表面，增強其印刷、涂覆等粘接效果，使得外殼上涂層與基體之間非常牢固地連接，涂覆效果非常均勻，外觀更加亮麗，并且耐磨性大大增強，長時間使用也不會出現磨漆現象 [1] 。
