低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫相當。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體，低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子，比通常的化學反映所產生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發生反映，因此它們被用來對材料表面進行改性處理。等離子體技術表面接枝處理
以等離子體接枝聚合進行材料表面改性，接枝層同表面分子以共價鍵結合，可獲得優良、耐久的改性效果。美國曾將聚酯纖維進行輝光放電等離子體處理與丙烯酸接枝聚合，改性后纖維吸水性大幅度提高，同時抗靜電性能也有改善。
行業應用特點
●具有工藝簡單、操作方便、加工速度快、處理效果好、環境污染小、節能等優點；
●等離子體技術在塑料元件的改性工藝中，提高了塑料的潤濕率；
●等離子體化技術應用于塑料窗用玻璃、汽車百葉窗和氖燈、鹵天燈的反光鏡處理；
●滌綸纖維堅固耐穿，但其結構緊密、吸水性差、難染色，采用低溫氮等離子體引發丙烯酰胺對滌綸織物進行接枝改性，接枝后滌綸織物的上染百分率、染色深度及親水性都有明顯提高；
●用等離子體處理聚丙烯膜，引入氨基，再通過共價鍵接枝，固定上葡萄糖氧化酶，接枝率分別達52μg/cm2和34μg/cm2；
●等離子體對醫用材料表面處理，可引入氨基、羰基等基團，生物活性物質與這些基團接枝反應可固定于材料表面；等離子技術針對電子元器件的防腐蝕涂層
對電子器件和組件提供有選擇性防腐蝕保護以應對氣候的影響對于各類產品的可靠性至關重要。現代轎車上的所有缺陷，幾乎一半是由于氣候引起的老化和電子元器件發生的腐蝕損害而造成的。即便是在極端溫度條件下，對濕度、化學物質和有害氣體進行防護，是避免這樣的系統故障的必不可少的先決條件。
當前，主要是通過油漆、樹脂或凝膠（硅）涂層來滿足這些要求。然而，這些工藝的應用費力而又費時，在經濟上和環保上都表現出局限性。通常使用的溶劑型涂層系統相對較厚且很難進行涂層區域選擇。根據具體的保護涂層種類，可能還會出現如散熱不良、吸收水分、涂層脫落或傳感器信號衰減等缺陷。
而利用等離子技術，可有效沉積超薄、透明和絕緣的防老化等離子聚合涂層，并有選擇性的保護電子器件，特別是印刷電路板。該涂層高效的防護阻隔作用，不僅會延長產品的壽命、提高產品的安全性，還將顯著降低成本。
