低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫相當。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體，低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子，比通常的化學反映所產生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發生反映，因此它們被用來對材料表面進行改性處理。等離子清洗機與常規濕式清洗比較的主要優點是：

①將氧作為清洗劑，它價格低也不需要進行處理;

②可連續供應新鮮的處理氣體，不存在清洗劑的老化問題;

③封閉室式操作不要求特別的職業性安全措麓;

④因為不需要干燥，故能耗低;

⑤造成的廢料僅僅是少量的象CO2和H2O氣這樣的氣體。

因注意到的很重要的一點是無任何濺射發生。有機物的清洗僅僅由它同活性氧的化學反應來實現。碳氫化合物的鏈分幾步陸續被破壞，*終形成的CO2和H2O氣體被真空泵抽走。不與處理氣體反應的無機材料當然不會被清除。等離子清洗機在運行的時候應該要注意哪些事項呢?

1、正確設置等離子設備的運行參數,按時設備使用說明書來執行;

2、保護好等離子體的點火裝置,以確保等離子清洗機可以正常的啟動;

3、等離子設備在啟動前的準備工作,要對相關的人員進行培訓,同時確保操作等離子清洗機的人員可以按照要求嚴格執行各項操作;

4、在一次風管沒有通風的時候,等離子體的發生器運行時間不能超過設備說明書上面要求的時間,防止燒壞燃燒器,造成不必要的損失;

5、如果需要對等離子設備進行維護時請將等離子發生器進行斷電后再進行相應的操作。

等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場合。通過其處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂。