低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫相當。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體，低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子，比通常的化學反映所產生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發生反映，因此它們被用來對材料表面進行改性處理。等離子表面處理技術進行預處理的優點和特性：
1、具有完全的“在線”集成能力（不干擾原有的工藝運行） 節能、低成本、環保
2、不會改變鋁箔的機械特性
3、可實現選擇性的、局部清洗
4、可對鋁箔進行雙面處理
5、處理工序可以集成在卷繞裝置前等離子清洗機與常規濕式清洗比較的主要優點是：
①將氧作為清洗劑，它價格低也不需要進行處理;
②可連續供應新鮮的處理氣體，不存在清洗劑的老化問題;
③封閉室式操作不要求特別的職業性安全措麓;
④因為不需要干燥，故能耗低;
⑤造成的廢料僅僅是少量的象CO2和H2O氣這樣的氣體。
因注意到的很重要的一點是無任何濺射發生。有機物的清洗僅僅由它同活性氧的化學反應來實現。碳氫化合物的鏈分幾步陸續被破壞，*終形成的CO2和H2O氣體被真空泵抽走。不與處理氣體反應的無機材料當然不會被清除。
