等離子體放電過程中產生臭氧的基本原理是含氧氣體在放電反應器內所形成的低溫等離子體氛圍中，一定能量的自由電子將氧分子分解成氧原子，之后通過三體碰撞反應形成臭氧分子，同時也發生著臭氧的分解反應。
臭氧，化學分子式為O3，又稱三原子氧、超氧，因其類似魚腥味的臭味而得名，在常溫下可以自行還原為氧氣。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子攜帶一個氧原子組成，決定了它只是一種暫存狀態，攜帶的氧原子除氧化用掉外，剩余的又組合為氧氣進入穩定狀態，所以臭氧沒有二次污染。

如果我們通入的氣體中含有氧氣，那么在反應過程中就會產生少量的臭氧，正是因為有臭氧的產生，所以我們在使用等離子設備中頻，射頻等離子處理機型；處理方式有水平、垂直、卷式RTR、轉鼓等真空等離子處理設備和噴射、準輝光、隧道、水平線多種常壓等離子處理設備；
等離子處理機具有高穩定性、高性價比、高均勻性等諸多優點。
特色鮮明的處理腔體形狀和電極結構可以滿足不同形狀、不同材質的表面處理要求，包括薄膜、織物、零件、粉體和顆粒等。
低溫等離子體表面處理設備、水平式低溫等離子體表面處理設備、卷對卷式低溫等離子體表面處理設備、以及大氣壓輝光放電表面處理設備等離子體技術表面接枝處理
以等離子體接枝聚合進行材料表面改性，接枝層同表面分子以共價鍵結合，可獲得優良、耐久的改性效果。美國曾將聚酯纖維進行輝光放電等離子體處理與丙烯酸接枝聚合，改性后纖維吸水性大幅度提高，同時抗靜電性能也有改善。
行業應用特點
●具有工藝簡單、操作方便、加工速度快、處理效果好、環境污染小、節能等優點；
●等離子體技術在塑料元件的改性工藝中，提高了塑料的潤濕率；
●等離子體化技術應用于塑料窗用玻璃、汽車百葉窗和氖燈、鹵天燈的反光鏡處理；
●滌綸纖維堅固耐穿，但其結構緊密、吸水性差、難染色，采用低溫氮等離子體引發丙烯酰胺對滌綸織物進行接枝改性，接枝后滌綸織物的上染百分率、染色深度及親水性都有明顯提高；
●用等離子體處理聚丙烯膜，引入氨基，再通過共價鍵接枝，固定上葡萄糖氧化酶，接枝率分別達52μg/cm2和34μg/cm2；
●等離子體對醫用材料表面處理，可引入氨基、羰基等基團，生物活性物質與這些基團接枝反應可固定于材料表面；