等離子清洗機常見故障及其解決辦法
1、等離子清洗機不發光
? 可能原因：1真空泵是否正常運行；2、射頻電源主板燒壞；
? 處理措施：1、真空泵是否正常工作，查看真空壓力表值是否達到正常壓力值；如不能達到正常壓強，則代表氣路有漏氣需重新檢查氣路是否固定好。
?2、打開設備右側面板，檢查射頻電源主板綠色燈在設備正常運行下是否亮，如果不亮，請聯系東信高科售后人員進行更換。
2、真空泵不工作
? 可能原因：1、真空泵油不足；2、電機燒壞；3、真空泵磨損
? 處理措施：1、清洗后，添加真空泵油；2、請聯系我公司客服
3、清洗效果不良
? 可能原因：1、等離子功率不夠；2、選用不適合的反應氣體
? 解決措施1、調節功率旋鈕，提高功率；2、工藝氣體是否匹配合理；3、咨詢我公司客服；
4、真空泵熱過載保護，請檢查線路和真空泵故障
? 出現此情況請首先觀察系統參數有無變化，設備突然斷電會引起系統參數歸零，導致設備出現此類報警。
? 如系統參數無變化，請確認熱繼電器是否自動保護，按復位鍵，然后啟動真空發生系統。如沒有自動保護，請檢查電氣線路有無斷路或短路情況。
? 檢查導線是否有斷路或短路情況。
? 如無上述異常，請檢查真空泵。
5、放空氣體壓力過低，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡
? 如出現此類報警請檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無斷路或短路。
6、真空泵倒計時故障（機械故障），請檢查真空泵抽空能力，故障排除點擊復位鍵
? 所處理產品有嚴重滲氣情況，真空倒計時時間設備較短，無法在設備時間內抽到背底真空。
? 檢查真空門是否關到位
? 逐級檢查真空系統中各連接點，看是否有管道連接不良或損壞
? 真空泵故障，需檢查保養真空泵。
7、真空計故障報警，真空計故障或損壞，請檢查并更換真空計
? 檢查真空計是否損壞，檢查真空計控制線路是否有斷路或短路。
8、急停未復位或已按下，請打開急停開關
? 檢查急停是否被按下，如沒有此情況，請檢查急停線路。
9、 CDA壓力過低報警（破空氣體壓力低）
? 此報警為壓縮空氣氣壓不足夠報警，主要出現于配有高真空氣動擋板閥（GDQ）的設備，出現此報警時需檢查CDA是否正常供氣至設備端。
? 確認供氣壓力是否過高或過低，減壓表的報警值是否設定正確。
? 檢查電氣線路是否出現斷路或短路。

等離子清洗在行業的同比優勢
一、清洗對象經等離子清洗之后是干燥的，不需要再經干燥處理即可送往下一道工序。可以提高整個工藝流水線的處理效率；
二、等離子清洗使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；
三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環保的綠色清洗方法。這在全球高度關注環保的情況下越發顯出它的重要性；
四、采用無線電波范圍的高頻產生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個清洗工藝流程幾分鐘內即可完成，因此具有產率高的特點；
六、等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達到。因此這種裝置的設備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統的濕法清洗工藝；
七、使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產場地很容易保持清潔衛生；
八、等離子體清洗可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進行部分清洗；
九、在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應用中都是非常重要的

什么是等離子處理？
（1）等離子處理中存在大量從電場獲取能量的電子。
（2）等離子處理中的電子動能轉化為空間電荷的電場和熱能。
（3）等離子處理邊界處存在電場較強的鞘層區域，帶電粒子在該區域內將被加速。
（4）等離子處理中的中性原子和分子受到高能電子和離子的碰撞，會變成帶電的自由基粒子。
（5）等離子處理中的高能粒子與材料相互作用，導致材料表面發生濺射和蒸發，而釋放出相關組元的粒子。
（6）等離子處理產生過程中的高能輻射是由原子躍遷或與電磁場的相互作用產生的。