等離子清洗機主要由三大部分組成：
1. 控制單元?，F在的等離子清洗機主要有全自動控制、半自動控制、PC控制、液晶觸摸屏控制四種控制單元，而控制單元主要由電源、控制系統、控制按鈕和操作顯示器等部分組成。
2. 真空腔體。真空腔體就是用于清洗對象物的空間，主要有石英腔體和不銹鋼真空腔體。由于其內部采用真空滅菌防菌以及等離子清洗法，對于腔體壓力的承受有著一定的要求，所以需要采用材質較好的腔體進行配置。
3. 真空泵。等離子清洗機的主要動力來源就是真空泵，主要作用是將真空腔體中的空氣抽干，達到真空的環境，然后再進行等離子清洗。真空泵主要分為干泵和油泵。干泵主要以電力為動力源，而油泵則使用汽油或柴油為動力源。
大氣等離子處理機技術的特點：
1. 均勻度高。大氣等離子是輝光式的等離子幕，直接作用于材料表面，實驗證明，同一材料不同位置的處理均勻性很高，這一特性對于工業領域進行下一環節的貼合、邦定、涂布、印刷等制程十分重要。
2. 效果可控。大氣等離子有三種效果模式可選。一是選用 氬氣/氧氣 組合，主要面向非金屬材料并且要求較高的表面親水效果時采用，比如玻璃，PET Film等。 二是選用 氬氣/氮氣 組合，主要面向各種金屬材料，如金線、銅線等。因氧氣的氧化作用，替換為此方案中的氮氣后，該問題可以得到有效控制。三是只采用氬氣的情況，只采用氬氣也可以實現表面改性，但是效果相對較弱。此為特殊情況，是少數工業客戶需要有限而均勻的表面改性時采用的方案。
3. 安全易用。大氣式等離子，也是低溫等離子，不會對材料表面造成損傷，例如對方阻值敏感的ITO Film材質亦可處理。無電弧，無需真空腔體，也無需廢氣排放系統，長時間使用并不會對操作人員造成身體損害。
4. 面積寬大。大氣等離子大可以處理2m寬的材料，可以滿足現有多數工業企業的需求。
5. 成本低廉。大氣等離子設備功耗低，運行成本以氣體為主。以主要消耗氣體氬氣為例，同corona等離子氣體消耗量相比不足其1/20.真空表面處理機相關的安全預防措施
1、關閉小型真空等離子表面處理機設備電源開關，切斷總電源保護器。
2、關閉所有的氣體。
3、準備必要的工具包。
4、是維護保養真空腔和真空發生系統：
（1）真空腔是加工工件的工作區域，使用一定時間后，空腔內會殘留部分污物，這些污物附著在電極板和空腔壁上。
清洗方法：連續使用一定時間后，用無塵布(紙)沾酒精清洗所有的電極板和腔壁，保持腔壁清潔。
（2）觀察窗是指工作人員在工作時觀察真空等離子表面處理機腔體內放電的用的，在使用了氣體蝕刻之后，會造成觀察窗的表面發生微蝕，使觀察窗變得模糊。
