真空等離子清洗機是一種有效、環保的表面清洗設備，廣泛應用于半導體、光伏、醫療、航天等領域中。其清洗原理主要基于等離子體化學反應和物理作用相結合的過程。
一、真空
等離子清洗機的基本結構
真空等離子清洗機主要由注入系統、真空系統、等離子發生器、反應室及廢氣處理系統等組成。其中注入系統負責將清洗物料送到反應室內部，并注入待清洗氣體；真空系統負責維持反應室內部的真空度；等離子發生器負責產生等離子體，并激活清洗氣體；反應室則是清洗反應的關鍵部位，利用等離子體化學反應和物理作用進行表面清洗；廢氣處理系統則主要負責回收和處理清洗產生的廢氣。
二、等離子體化學反應的原理
等離子體是一種高能量帶電氣體狀態，具有較高的離解度和反應活性。當高能量電場作用于清洗氣體時，清洗氣分子中的電子被撞出，并與其他分子或原子發生碰撞，形成離子、自由基等高活性物質。這些高活性的物質具有強氧化還原能力，可以加速雜質的去除、表面的去污以及鈍化處理。同時，通過調節清洗氣體、電場強度、反應時間和溫度等參數，可以實現不同材料表面的清洗效果。
三、物理作用的原理
等離子體在帶電的狀態下，會聚集在物體表面，并通過靜電吸引力使物質與等離子體產生相互作用，實現清洗。物理作用主要包括以下幾種：
1.轟擊清洗法，即利用等離子體粒子的高動能對雜質進行轟擊，將其從物體表面清洗出來。
2.消蝕清洗法，即利用等離子體中的高能離子打擊表面材料，實現深度清洗。
3.離子注入法，即利用等離子體中的離子對材料表面進行注入改性。
4.表面硬化法，即由等離子體引起的高速響應熱震導致表面結構的組織變化，增強表面的硬度和耐腐蝕性。
四、真空等離子清洗機的清洗優勢
1.有效：真空等離子清洗機具有高能量、高反應速度等特點，可快速清洗復雜表面上的污染物和粘附雜質。
2.環保：清洗過程不含有任何有害化學藥品，對環境無污染。
3.安全：在清洗過程中，沒有明火、爆炸等安全隱患，操作更加穩定與安全。
4.兼容性好：真空等離子清洗機可以適用于多種類型材料的清洗，如金屬、玻璃、塑料、陶瓷等。
5.表面質量優異：采用真空等離子清洗技術可以達到納米級別的清洗效果，使得清洗后的材料表面平整、光滑，光致反射率增強，提高其光電性能。同時，通過鈍化處理等措施，可以大幅減輕材料表面氧化、銹蝕等問題，延長使用壽命。等離子體表面處理與常規處理的對比
等離子體表面處理
通過放電裝置將電離的等離子體中的電子或離子打到承印物表面，一方面，可以打開材料的長分子鏈，出現高能基團；另一方面，經打擊使薄膜表面出現細小的針孔，同時還可使表面雜質離解、重解。電離時放出的臭氧有強氧化性，附著的雜質被氧化而除去，使承印物表面自由能提高，達到改善印刷性能的目的
電暈處理
利用高頻（中頻）高壓電源，在放電刀架和刀片的間隙產生一種電暈釋放現象，用這種方法對塑料薄膜在印刷前進行表面處理，叫電暈處理，也稱電子沖擊或電火花處理。其處理作用為：通過放電，使兩極之間的氧氣電離，產生臭氧，臭氧是一種強氧化劑，可以立即氧化塑料薄膜的表面分子，使其由非極性轉化為極性，表面張力得到提高。電子沖擊后，使薄膜表面產生微凹密集孔穴，使塑料表面粗化，增大表面活性。
化學處理法
印刷前利用氧化劑對PP、PE塑料薄膜的表面進行處理，使其表面生成羥基、羰基等極性集團，同時得到一定程度的粗化，以提高油墨與塑料薄膜的表面結合牢度。
化學處理法是應用較早的一種表面處理法，對于印刷，復合前薄膜的表面處理效果好，使用簡便、經濟，但需較長的處理時間影響了生產效率。并且處理液一般都具有化學侵蝕性，造成環境污染及對人體的危害，目前較少采用這種工藝，一般只在不便使用其他處理方法的情況下才采用這種表面處理工藝
光化學處理法
一般是利用紫外線照射高聚物表面，使其引起化學變化，達到改善表面張力，提高潤濕性和粘合性的目的。和電暈處理一樣，紫外線照射也能使高聚物表面發生裂解、交聯和氧化。
要想得到較好的光化學處理效果，必須選擇適當波長的紫外線，例如用波長為184mm的紫外線照射聚乙烯表面，能使其表面發生交聯，但如改用2537A的波長則難有相同的效果。
火焰處理法
適用于小型塑料容器的表面處理，其目的在于用高溫使表面去污，并溶化膜層表面，提高表面粘附油墨的性能。
聚烯烴經火焰處理后形成了極性基團，潤濕性得以改善，而粘接性的改善則由于極性基團改善了潤濕性以及產生斷鏈而相對改善。
火焰處理效果較好，無污染，成本低廉，但操作要求嚴格，如不小心會導致產品變形，使成品報廢。目前主要應用于較厚的塑料制品的表面處理。
防靜電處理
塑料薄膜印刷中的靜電會給操作帶來一系列難題，直接影響印品的產量和質量。例如，在印刷小包裝塑料薄膜時，由于靜電粘連，薄膜間處于缺氧狀態，會阻礙塑料印墨層固化的過程，若遇高溫高濕環境，更易形成墨層粘連，輕則使印刷墨色移染，增加印刷、分切、整理等工序的難度，重則薄膜互相粘連，撕不開，造成印品報廢。另外制袋后的儲運、存放過程中也會不斷放電，既影響熱封又影響袋內實物與空間層次的透明度。在印刷大幅面薄膜時，因為生成的靜電多，在機速高、樹脂中未摻有抗靜電劑的情況下，很可能引起火災或爆炸事故。
塑料薄膜的靜電形成是由于PE和PP具有優良的介電性能、電阻高、導電性差，薄膜在擠出收卷過程中因摩擦而產生靜電，在印刷過程中使靜電進一步產生和積累，并不易釋放，使薄膜表面聚積大量的靜電荷。印刷薄膜收卷后，薄膜與薄膜之間緊緊地卷在一起，使電荷不利于排斥而利于吸引，造成粘合。等離子表面處理的處理工藝
1.等離子表面處理過的表面，無論是塑料，金屬還是玻璃都能獲得表面能的提高，通過這樣的處理工藝，制品的表面狀態才能充分滿足后續的涂裝，粘接等工藝的要求。
2.常壓等離子表面處理具有極為廣泛的應用領域，這使其成為行業中廣受關注的核心表面處理工藝。通過使用這種創新的表面處理工藝，可以實現現代制造工藝所追求的高品質，高可靠性，率，低成本和環保等目標
3.等離子態(Plasma)被稱為是物質的四態，我們知道，給固態增加能量可使之成為液態，給液態增加能量可使之變成氣態，那么，給氣態增加能量則能變成等離子態。
4.等離子表面處理器在印刷包裝行業的應用，采用等離子表面處理器處理膠結面工藝可以極大的提高粘接強度，降低成本，粘接質量穩定，產品一致性好，不產生粉塵，環境潔凈。
5.等離子表面處理器在汽車行業的應用，在目前已經廣泛的應用于車燈、各種橡膠封條、內飾、剎車塊、雨刮器、油封、儀表盤、安全氣囊、保險杠、天線、發動機密封、GPS、DVD、儀表、傳感器，汽車的門封條。
