真空表面處理機相關的安全預防措施
1、關閉小型真空等離子表面處理機設備電源開關，切斷總電源保護器。
2、關閉所有的氣體。
3、準備必要的工具包。
4、是維護保養真空腔和真空發生系統：
（1）真空腔是加工工件的工作區域，使用一定時間后，空腔內會殘留部分污物，這些污物附著在電極板和空腔壁上。
清洗方法：連續使用一定時間后，用無塵布(紙)沾酒精清洗所有的電極板和腔壁，保持腔壁清潔。
（2）觀察窗是指工作人員在工作時觀察真空等離子表面處理機腔體內放電的用的，在使用了氣體蝕刻之后，會造成觀察窗的表面發生微蝕，使觀察窗變得模糊。一、等離子設備日常維護
（一） 等離子發生器的維護
定期清理等離子發生器內部的外殼及排氣口灰塵。建議至少每月檢查一次；
定期更換等離子源體；
定期檢查掌握等離子發生器的加工系統參數，確保其正常工作；
注意等離子源的調整，增大等離子體流量，經常清洗導體；
（二）易損件維護
定期檢查并更換設備中的易損件，如膜片、密封圈、電極等，防止其損壞影響設備正常工作；
每半年對快門桿和氣壓控制進行檢查和校準，避免出現誤差。
（三）其他維護注意事項
定期更換老化、損壞的電纜線；
定期校準空氣壓力表和溫度計等，確保其精確度；
加油、更換機器油。
二、等離子設備故障排除
如果出現故障，需要先確定故障原因才能進行修理。以下是常見故障排除方法：
（一）等離子體丟失或流量減少
檢查配合的真空泵是否正常開啟，系統管道是否漏氣。
檢查減壓閥門是否被堵塞；
檢查氧流量計、氣體流量計、陶瓷燃燒嘴等部件是否有損傷。
（二）設備火花分析效果差
先檢查離子發生器內部是否有雜質；
調整電極間距，確認裝置無松動現象；
更換發光信號紙片窯。等離子處理設備的7個特點
1.噴射出的等離子體流為中性，不帶電 ，可以對各種高分子、金屬、半導體、橡膠、PCB電路板等材料進行表面處理。
2.等離子表面處理器處理后去除了碳化氫類污物，如油脂，輔助添加劑，有利于粘結、性能持久穩定，保持時間長。
3.溫度低、適合運用于那些表面材料對溫度敏感的制品。
4.不需要箱體，可以直接安裝在生產線上，在線運行處理。相對與磨邊機的反向運行，大大提高了工作效率。
5.只消耗空氣和電，因此運行成本低，操作更安全。
6.干式方法處理無污染，無廢水，符合環保要求；并且替代了傳統的磨邊機，杜絕了紙粉紙毛對環境及設備的影響。
7.經等離子表面處理器處理后，可采用普通膠水來粘盒，降低了生產成本。
