低溫等離子體的作用方式主要有三種:等離子體表面處理改性(PST法)、等離子體接枝聚合(PGP法)和等離子體沉積聚合(PPD法)。PST法是指對材料表面或極薄表層的活化、刻蝕處理,通常稱為減量處理。因為低溫等離子體中的電子等活性因素的能量(高達20 eV)比有機化合物的化學鍵能(<10 eV)高得多,在化學性上很活躍。當處理有機化合物時,很容易使被處理物表面纖維發生斷裂,從而改善纖維或織物的吸濕性、拒水性、抗污性及染色性等性能。PGP法是運用等離子體作用首先使表面活化，并引入活性基團，然后再運用接枝方法在原表面上接上許多活性支鏈，構成新表層。PPD法是將有機化合物的氣體形成等離子體狀態，通過控制工藝條件，使其沉積在處理物表面形成覆膜的方法。后兩類是增量處理法。
